|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000021123 |
| 005 |
20200910102811.0 |
| 010 |
# |
# |
$a 978-985-08-0792-2
$b в переплете
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070219d2007 k y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a a z 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Оборудование для химического осаждения из газовой фазы функциональных слоев
$f В. А. Емельянов, А. С. Турцевич, О. Ю. Наливайко
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$c Белорусская наука
$d 2007
|
| 215 |
# |
# |
$a 254, [1] с.
$c ил., табл.
$d 22 см
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 233―253
|
| 345 |
# |
# |
$9 1000 экз.
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar8169841
$a ОСАЖДЕНИЕ АТОМНЫХ СЛОЕВ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar83769
$a ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39622
$a ЭПИТАКСИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2493283
$a ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar13518
$a КЛАСТЕРИЗАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar36783
$a ХИМИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2356645
$a СКРУББЕРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4857
$a ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4863
$a ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23671
$a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar63017
$a ГАЗОАНАЛИЗАТОРЫ
$2 DVNLB
|
| 610 |
0 |
# |
$a кластерное оборудование
|
| 610 |
0 |
# |
$a кластэрнае абсталяванне
|
| 610 |
0 |
# |
$a атомарно-слоевое оборудование
|
| 610 |
0 |
# |
$a атамарна-слаявое абсталяванне
|
| 610 |
0 |
# |
$a эпитаксиальные реакторы
|
| 610 |
0 |
# |
$a эпітаксіяльныя рэактары
|
| 610 |
0 |
# |
$a реакторы химического осаждения
|
| 610 |
0 |
# |
$a рэактары хімічнага асаджэння
|
| 610 |
0 |
# |
$a реакторы атомарно-слоевого осаждения
|
| 610 |
0 |
# |
$a рэактары атамарна слаявога асаджэння
|
| 610 |
0 |
# |
$a реакторы пониженного давления
|
| 610 |
0 |
# |
$a рэактары паніжанага ціску
|
| 610 |
0 |
# |
$a реакторы с активацией плазмы
|
| 610 |
0 |
# |
$a рэактары з актывацыяй плазмы
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.38-027.3:621.793.16
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.29
$v 5
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$v 5
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.29
$v 5
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.31
$v 5
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 61.31.59
$v 5
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$v 5
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2502537
$a Емельянов
$b В. А.
$g Виктор Андреевич
$c доктор технических наук
$f род. 1948
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2502584
$a Турцевич
$b А. С.
$g Аркадий Степанович
$c доктор технических наук
$f род. 1958
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2502673
$a Наливайко
$b О. Ю.
$g Олег Юрьевич
$c кандидат технических наук, электроника
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070219
$g psbo
|
