Оборудование для химического осаждения из газовой фазы функциональных слоев / В. А. Емельянов, А. С. Турцевич, О. Ю. Наливайко
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Емельянов, В. А. (род. 1948) |
| Опубликовано: | Минск : Белорусская наука , 2007 |
| Физические характеристики: |
254, [1] с. : ил., табл. ; 22 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||