Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.10 / Голод Сергей Владиславович
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Голод, С. В. |
| Апублікавана: | Новосибирск , 2006 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
23 с. : ил.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||