Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.10 / Голод Сергей Владиславович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Голод, С. В. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 2006 |
| Физические характеристики: |
23 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||