
Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.10 / Голод Сергей Владиславович
Zapisane w:
Format: | |
---|---|
1. autor: | Голод, С. В. |
Wydane: | Новосибирск , 2006 |
Opis fizyczny: |
23 с. : ил.
|
Język: | Русский |
Hasła przedmiotowe: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|