|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000004449 |
| 005 |
20070615152930.4 |
| 100 |
# |
# |
$a 20061226d2006 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e 01.04.10
$f Голод Сергей Владиславович
$g [Институт физики полупроводников СО РАН]
|
| 210 |
# |
# |
$a Новосибирск
$d 2006
|
| 215 |
# |
# |
$a 23 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 23 (15 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24596
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18306
$a МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34588
$a ТРЕХМЕРНЫЕ ОБЪЕКТЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2400420
$a ПРЕЦИЗИОННЫЕ СИСТЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.10
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.31
$2 rugasnti
$v 5
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.22
$2 rugasnti
$v 5
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-133084
$a Голод
$b С. В.
$g Сергей Владиславович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20061226
$g psbo
|
