|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000004326 |
| 005 |
20220412165117.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20061226d2006 k y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Особенности кинетической ионно-электронной эмиссии и с поверхности металлических и полупроводниковых пленочных материалов в процессе ионно-лучевого травления
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.27.06
$f Сергиенко Андрей Алексеевич
$g [Московский государственный институт стали и сплавов]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2006
|
| 215 |
# |
# |
$a 25 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 24-25 (8 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34169
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2451365
$a ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2451391
$a ИОННО-ЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 5
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$v 5
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.35
$v 5
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-133396
$a Сергиенко
$b А. А.
$g Андрей Алексеевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20061226
$g psbo
|
