Особенности кинетической ионно-электронной эмиссии и с поверхности металлических и полупроводниковых пленочных материалов в процессе ионно-лучевого травления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Сергиенко Андрей Алексеевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//1297(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Сергиенко, А. А.
Опубликовано: Москва , 2006
Физические характеристики: 25 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 1 , доступно: 1 Доступно  Заказать

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
2//1297(039) ОФХ отдела книгохранения (039) 11:4:3:84 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал