Технология сверхбольших интегральных схем и оптико–механическое оборудование для микро– и наноэлектроники / В. В. Мартынов, Я. И. Точицкий

Saved in:
Шифр документа: 1Н//697588(039), 1Н//697589(039), ##1Н//405173(055),
Format: Books
Main Author: Мартынов, В. В.
Published: Минск : Беларуская навука , 2018
Physical Description: 466, [1] с. : ил., цв. ил., схемы, табл. ; 25 см
Language: Russian
Subjects:
СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
МУЛЬТИПЛИКАТОРЫ (техн.)
СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
ОПТИКО-МЕХАНИЧЕСКИЕ ПРИБОРЫ
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
НАНОЭЛЕКТРОНИКА
ПРЕЦИЗИОННОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
ТОПОЛОГИЯ
МИКРОЛИТОГРАФИЯ
ФОТОЛИТОГРАФИЯ

ЦПФ (центральный подсобный фонд)

All : 1 , available: 1 Available Without order

Information about the copies

Shifr Fond Holding place Copy status Reading room
1Н//697588(039) ЦПФ (центральный подсобный фонд) (048) 01 621.38 AVAILABLE NO PRE-ORDER

ОФХ отдела книгохранения

All : 1 , available: 1 Available  Place a Hold

Information about the copies

Shifr Fond Holding place Copy status Reading room
1Н//697589(039) ОФХ отдела книгохранения (039) 15:1:10:77 AVAILABLE Рекомендованный ЧитЗал

Similar Items