Технология сверхбольших интегральных схем и оптико–механическое оборудование для микро– и наноэлектроники / В. В. Мартынов, Я. И. Точицкий
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Мартынов, В. В. |
| Опубликовано: | Минск : Беларуская навука , 2018 |
| Физические характеристики: |
466, [1] с. : ил., цв. ил., схемы, табл. ; 25 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ЦПФ (центральный подсобный фонд)
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Без заказа | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||