Технология сверхбольших интегральных схем и оптико–механическое оборудование для микро– и наноэлектроники / В. В. Мартынов, Я. И. Точицкий
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Мартынов, В. В. |
| Апублікавана: | Минск : Беларуская навука , 2018 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
466, [1] с. : ил., цв. ил., схемы, табл. ; 25 см
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ЦПФ (центральный подсобный фонд)
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Без заказу | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||