Технология сверхбольших интегральных схем и оптико–механическое оборудование для микро– и наноэлектроники / В. В. Мартынов, Я. И. Точицкий

Сохранено в:
Шифр документа: 1Н//697588(039), 1Н//697589(039), ##1Н//405173(055),
Вид документа: Книги
Автор: Мартынов, В. В.
Опубликовано: Минск : Беларуская навука , 2018
Физические характеристики: 466, [1] с. : ил., цв. ил., схемы, табл. ; 25 см
Язык: Русский
Предмет:
СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
МУЛЬТИПЛИКАТОРЫ (техн.)
СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
ОПТИКО-МЕХАНИЧЕСКИЕ ПРИБОРЫ
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
НАНОЭЛЕКТРОНИКА
ПРЕЦИЗИОННОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
ТОПОЛОГИЯ
МИКРОЛИТОГРАФИЯ
ФОТОЛИТОГРАФИЯ
00000cam0a2200000 ib4500
001 BY-CNB-br4679040
005 20181205103735.0
010 # # $a 978-985-08-2323-6  $b в переплете 
100 # # $a 20180827d2018 k y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a z 010yy 
109 # # $a aa 
200 1 # $a Технология сверхбольших интегральных схем и оптико–механическое оборудование для микро– и наноэлектроники  $f В. В. Мартынов, Я. И. Точицкий  $g Национальная академия наук Беларуси 
210 # # $a Минск  $c Беларуская навука  $d 2018 
215 # # $a 466, [1] с.  $c ил., цв. ил., схемы, табл.  $d 25 см 
300 # # $a На обложке: Национальная академия наук Беларуси — 90 лет 
320 # # $a Библиография: с. 458—461 (100 назв.) 
345 # # $9 100 экз. 
606 # # $3 BY-NLB-ar2121092  $a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 # # $3 BY-NLB-ar2130524  $a МУЛЬТИПЛИКАТОРЫ (техн.)  $2 DVNLB 
606 # # $3 BY-NLB-ar3334434  $a СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 # # $3 BY-NLB-ar33874  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 # # $3 BY-NLB-ar21769  $a ОПТИКО-МЕХАНИЧЕСКИЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
606 # # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 # # $3 BY-NLB-ar45117  $a НАНОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 # # $3 BY-NLB-ar6167885  $a ПРЕЦИЗИОННОЕ ОБОРУДОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 # # $3 BY-NLB-ar34220  $a ТОПОЛОГИЯ  $2 DVNLB 
606 # # $3 BY-NLB-ar2408340  $a МИКРОЛИТОГРАФИЯ  $2 DVNLB 
606 # # $3 BY-NLB-ar85256  $a ФОТОЛИТОГРАФИЯ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.771.16-027.3:763  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.382.049.77-027.3:658.274  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.33.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-RLST-ar369532  $a Мартынов  $b В. В.  $g Валерий Владимирович  $c доктор технических наук 
701 # 1 $3 BY-SEK-ar1985736  $a Точицкий  $b Я. И.  $g Яков Иванович  $c кандидат технических наук 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar189198  $a Национальная академия наук Беларуси  $c Минск  $4 475 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0005  $c 20180904  $g RCR 

Схожие документы