Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: [учебное пособие для вузов]: в 2 т. / [под общей редакцией Ю. Н. Коркишко]
Сохранено в:
Показ/скрытие дополнительной информации.
| Другие авторы/ответственные: | Коркишко, Ю. Н. |
|---|---|
| Вид документа: | |
| Опубликовано: | Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний , 2010— |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Нанотехнологии
|
| 00000cam1a2200000 ib4500 | |||
| 001 | BY-RLST-kn-230732 | ||
| 005 | 20170926183906.9 | ||
| 010 | # | # | $a 978-5-9963-0341-0 $b в переплете |
| 100 | # | # | $a 20101214g2010 f y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 105 | # | # | $a ||||j 00|yy |
| 109 | # | # | $a ga |
| 200 | 1 | # | $a Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий $e [учебное пособие для вузов] $e в 2 т. $f [под общей редакцией Ю. Н. Коркишко] |
| 210 | # | # | $a Москва $c БИНОМ. Лаборатория знаний $d 2010— |
| 215 | # | # | $d 22 см |
| 225 | 1 | # | $a Нанотехнологии |
| 702 | # | 1 | $a Коркишко $b Ю. Н. $4 340 |
| 801 | # | 0 | $a BY $b BY-HM0001 $c 20101214 $g psbo |
| 801 | # | 2 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20170926 $g psbo |