Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: [учебное пособие для вузов]: в 2 т. / [под общей редакцией Ю. Н. Коркишко]
Сохранено в:
Показ/скрытие дополнительной информации.
| Другие авторы/ответственные: | Коркишко, Ю. Н. |
|---|---|
| Вид документа: | |
| Опубликовано: | Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний , 2010— |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Нанотехнологии
|