
Химия и материалы в микроэлектронике: Учеб. пособие / Моск. ин-т электрон. техники
Сохранено в:
Показ/скрытие дополнительной информации.
Автор: | Петрова, В. З. |
---|---|
Другие авторы/ответственные: | Ханова, Н. А. |
Вид документа: | |
Опубликовано: | М. , 1989 |
Язык: | Русский |