Рост и легирование полупроводниковых кристаллов и пленок: [Материалы симпозиума : В 2-х ч.] / Отв. ред. д-р хим. наук Ф. А. Кузнецов
Сохранено в:
Показ/скрытие дополнительной информации.
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Новосибирск : «Наука». Сиб. отд-ние , 1977- |
| Язык: | Русский |