Защитные пленки в производстве полупроводниковых приборов: (Окисел кремния, нитрид кремния, окисел алюминия). Отеч. и иностр. литература...

Сохранено в:
Вид документа: Книги
Опубликовано: [М.] : ОНТИТЭИ , 1972
Язык: Русский
Серия: Темат. указ. литературы. Серия «Полупроводниковые приборы»
00000nam1a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr21526810000
005 20071010145004.0
100 # # $a 20071010d1972 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Защитные пленки в производстве полупроводниковых приборов  $e (Окисел кремния, нитрид кремния, окисел алюминия). Отеч. и иностр. литература... 
210 # # $a [М.]  $c ОНТИТЭИ  $d 1972 
215 # # $d 522 см 
225 2 # $a Темат. указ. литературы. Серия «Полупроводниковые приборы»  $f М-во электронной пром-сти СССР 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071010  $g psbo