Защитные пленки в производстве полупроводниковых приборов: (Окисел кремния, нитрид кремния, окисел алюминия). Отеч. и иностр. литература...
Сохранено в:
Показ/скрытие дополнительной информации.
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | [М.] : ОНТИТЭИ , 1972 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Темат. указ. литературы. Серия «Полупроводниковые приборы»
|