Технология и конструирование полупроводниковых приборов: Методы изготовления электронно-дырочных переходов в полупроводниках. Курс лекций для специальности 0629 / Моск. ин-т стали и сплавов. Кафедра полупроводниковой электроники и физики полупроводников