Технология производства микроэлектронных устройств: лабораторный практикум для учащихся специальности 2-41 01 31 "Микроэлектроника": в 2 ч. / Министерство образования Республики Беларусь, Учреждение образования "Минский государственный высший радиотехнический колледж"