Применение светочувствительных стекол в микроэлектронике / Я. М. Беккер, В. А. Боргман, П. П. Мягконосов

Сохранено в:
Шифр документа: АЯ437287, М200110,
Вид документа: Книги
Автор: Беккер, Я. М.
Опубликовано: Л. , 1982
Физические характеристики: 20 с.
Язык: Русский
Серия: Сер. "Новое в конструировании и технологии пр-ва радиоэлектр. аппаратуры"
Предмет:
Подробнее
00000cam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr37109580000
005 20140503165245.0
010 # # $d 10 к. 
021 # # $a RU  $b [82-53460] 
100 # # $a 20070830d1982 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Применение светочувствительных стекол в микроэлектронике  $f Я. М. Беккер, В. А. Боргман, П. П. Мягконосов 
210 # # $a Л.  $d 1982 
215 # # $a 20 с. 
225 2 # $a Сер. "Новое в конструировании и технологии пр-ва радиоэлектр. аппаратуры"  $f О-во "Знание" РСФСР. Ленингр. орг., Ленингр. дом науч.-техн. пропаганды 
300 # # $a Библиогр.: с. 19 (11 назв.) 
345 # # $9 3200 экз. 
610 0 # $a Стекло светочувствительное - Применение 
675 # # $a 666.1:621.382.049 
700 # 1 $a Беккер  $b Я. М.  $g Яков Михайлович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070830  $g psbo