Электронная литография и ее применение в микроэлектронике: (материалы Всесоюзной научно-технической конференции, 23―24 октября 1975 г., г. Москва): [сборник статей / под редакцией Г. Х. Сатарова]
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 出版: | Москва : Электроника , 1976 |
| 實物描述: |
52, [1] с., включая обложку : граф., схемы, табл. ; 21 см
|
| 語言: | Русский |
| 叢編: |
Тезисы докладов и рекомендации научно-технических конференций, совещаний и семинаров по электронной технике
вып. 1 (53) |
1976, Вып.1: Электронная литография и ее применение в микроэлектронике
| Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||