Исследование приповерхностных слоев структур микроэлектроники методами растровой электронной микроскопии: (01.04.04): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / МГУ им. М. В. Ломоносова, Физ. фак.
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Гостев, А. В. |
| Veröffentlicht: | М. , 1987 |
| Beschreibung: |
11 с.
|
| Sprache: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||