Исследование приповерхностных слоев структур микроэлектроники методами растровой электронной микроскопии: (01.04.04): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / МГУ им. М. В. Ломоносова, Физ. фак.
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 主要作者: | Гостев, А. В. |
| 出版: | М. , 1987 |
| 實物描述: |
11 с.
|
| 語言: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||