Разработка импульсных фотонных процессов термообработки для создания биполярных микросхем: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника и микроэлектроника / Пилипенко Владимир Александрович
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Пилипенко, В. А. (род. 1949) |
| Published: | Минск , 1990 |
| Physical Description: |
33 с.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||