Разработка методики и аппаратуры для моделирования ионно-лучевых технологических процессов формирования пленочных структур изделий микроэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Мин. радиотехн. ин-т
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Левчук, Н. Е. |
| Publié: | Мн. , 1985 |
| Description matérielle: |
20 с.
|
| Langue: | Русский |