Разработка методики и аппаратуры для моделирования ионно-лучевых технологических процессов формирования пленочных структур изделий микроэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Мин. радиотехн. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Левчук, Н. Е. |
| Опубликовано: | Мн. , 1985 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |