Физико-механистические свойства кремниевых наноструктур, как технологического материала микросистемной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Залкинд Яков Григорьевич
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Залкинд, Я. Г. |
| Publicado: | М. , [2005 ?] |
| Descripción Física: |
26 с.
|
| Lenguaje: | Русский |
| Materias: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||