Физико-механистические свойства кремниевых наноструктур, как технологического материала микросистемной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Залкинд Яков Григорьевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Залкинд, Я. Г. |
| Опубликовано: | М. , [2005 ?] |
| Физические характеристики: |
26 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||