Формирование слоев аморфного гидрогенизированного кремния в силансодержащей плазме комбинированного разряда: Дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.06: 19.04.2001: 27.06.2001 / Грунский Дмитрий Игоревич
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Грунский, Д. И. |
| Publié: | Мн. , 2001 |
| Langue: | Русский |
| Sujets: | |
| Accès en ligne: |
E-документ
|
ОФХ диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||