Формирование слоев аморфного гидрогенизированного кремния в силансодержащей плазме комбинированного разряда: Дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.06: 19.04.2001: 27.06.2001 / Грунский Дмитрий Игоревич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Грунский, Д. И. |
| Опубликовано: | Мн. , 2001 |
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||