Физические механизмы сухого электронно-лучевого травления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 2.2.2 Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств / Сидоров Федор Алексеевич
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Сидоров, Ф. А. |
| Wydane: | Москва , 2023 |
| Opis fizyczny: |
21 с. : ил., цв. ил.
|
| Język: | Русский |
| Hasła przedmiotowe: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||