Физические механизмы сухого электронно-лучевого травления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 2.2.2 Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств / Сидоров Федор Алексеевич
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Сидоров, Ф. А. |
| Publié: | Москва , 2023 |
| Description matérielle: |
21 с. : ил., цв. ил.
|
| Langue: | Русский |
| Sujets: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||