Методы оптико-электронной регистрации критических размеров субмикронных планарных структур изделий микроэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Трапашко Георгий Алексеевич
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Трапашко, Г. А. |
| Апублікавана: | Минск , 2014 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
21 с. : ил.
|
| Мова: | Руская Беларуская Англійская |
| Прадмет: | |
| Е-дакумент: |
E-дакумент
|
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 2 , даступна: 2 | Даступна Замовіць | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||