Быстрое вакуумно-термическое формирование эпитаксиальных слоев 3C-SiC и барьерных структур на их основе: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.10 Физика полупроводников / Лобанок Михаил Владимирович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Лобанок, М. В. |
| Опубликовано: | Минск , 2025 |
| Физические характеристики: |
23 с. : ил., цв. ил., табл. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |