Быстрое вакуумно-термическое формирование эпитаксиальных слоев 3C-SiC и барьерных структур на их основе: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Лобанок Михаил Владимирович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Минск , 2025 |
| Физические характеристики: |
23 с. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |