Электронная библиотека Национальной библиотеки Беларуси

Формирование субмикронных кмоп структур с повышенной точностью критических размеров методом проекционной фотолитографии: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: защищена 17.03.05: утверждена 18.05.05: 05.27.01 / Коробко Юлия Олеговна. - Минск, 2005. - 134 л.

“...621.382.049.77-027.3:776(043.3) 3 rus...”

Двухкоординатная система перемещений для сборочного оборудования производства изделий микроэлектроники: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06: защищена 19.10.06: утверждена 27.12.06 / Дау Мохамед Азентани. - Минск, 2006. - 172, [2] л.

“...621.382.049.77-027.3:621.717-52(043.3) 4 rus...”

Методы и средства формирования программируемых движений в оборудовании производства изделий микроэлектроники: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06: защищена 07.12.06: утверждена 14.02.07 / Дайняк Игорь Викторович. - Минск, 2006. - 174, [1] л.

“...621.382.049.77-027.3:621.717-52(043.3) 4 rus...”

Система прецизионных пространственных перемещений на основе планарных приводов прямого действия для оборудования производства изделий электронной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Агранович Александр Александрович. - Минск, 2007. - 22 с.

“...621.382.049.77-027.3:658.28:681.532.1(043.3) 4 rus...”

Формирование наноструктурированных металлсодержащих покрытий осаждением из водных растворов, их свойства и применение в электронике: диссертация на соискание ученой степени доктора физико-математических наук: 05.27.01: защищена 12.04.07: утверждена 03.10.07 / Богуш Вадим Анатольевич. - Минск, 2006. - 414 л.

“...621.382.049.77-027.3:621.793.3(043.3) 4 rus...”

Технология и оборудование для термозвуковой микросварки в изделиях электронной техники с высокой плотностью межсоединений: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Петухов Игорь Борисович. - Минск, 2015. - 24 с.

“...621.382.049.77-027.3:621.791.16.016.2-022.53(043.3) 4 rus...”

Формирование субмикронного рельефа тонких пленок обратной литографией с использованием металлических и оксидных масок: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01 / Прудник Александр Михайлович. - Мн., 2002. - 21 с.

“...621.382.049.77-027.3(043.3) 4 rus...”

Формирование тонкопленочных слоев с высокой диэлектрической проницаемостью на основе сложных оксидов реактивным магнетронным распылением: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Доан Тхе Хоанг. - Минск, 2023. - 21 с.

“...621.382.049.77-027.3:621.793.7(043.3) 4 rus...”

Система прецизионных пространственных перемещений на основе планарных приводов прямого действия для оборудования производства изделий электронной техники: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06: защищена 20.09.07: утверждена 28.11.07 / Агранович Александр Александрович. - Минск, 2007. - 175 л.

“...621.382.049.77-027.3:658.28:681.532.1(043.3) 4 rus...”

Структурно-фазовые превращения в кристаллах кремния и углеродных материалах при высокоинтенсивном ионном и лазерном воздействиях: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.07: защищена 16.06.08: утверждена 22.10.08 / Петров Сергей Александрович. - Минск, 2008. - 142 л.

“...621.382.049.77-027.3:621.7/.9.048.7(043.3) 4 rus...”

Многокоординатная система перемещений на основе сегментного кольцевого привода прямого действия для оборудования микроэлектроники: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06: защищена 28.06.11: утверждена 28.09.11 / Ареби Мажед Али. - Минск, 2011. - 183 л.

“...621.382.049.77-027.3:621.717.077-52(043.3) 4 rus...”

Прецизионные термостабильные резистивные и емкостные элементы интегральных микросхем на основе наноструктурированных пленок вентильных металлов и композиционных анодных металлоксидов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.16.08 Нанотехнологии и наноматериалы / Плиговка Андрей Николаевич. - Минск, 2013. - 24 с.

“...621.382.049.77-027.3:621.794.61:621.357.8(043.3) 4 rus...”

Прецизионные термостабильные резистивные и емкостные элементы интегральных микросхем на основе наноструктурированных пленок вентильных металлов и композиционных анодных металлоксидов: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.16.08 Нанотехнологии и наноматериалы / Плиговка Андрей Николаевич. - Минск, 2013. - 146, [1] л.

“...621.382.049.77-027.3:621.794.61:621.357.8(043.3) 4 rus...”

Электрохимическое и химическое формирование наноразмерных межсоединений элементов кремниевых интегральных микросхем: диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.16.08 Нанотехнологии и наноматериалы / Дубин Валерий Михайлович. - Минск, 2012. - 172, [1] л.

“...621.382.049.77-027.3(043.3) 4 rus...”

Методы оптико-электронной регистрации критических размеров субмикронных планарных структур изделий микроэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Трапашко Георгий Алексеевич. - Минск, 2014. - 21 с.

“...621.382.049.77-027.3:658.562:535.24.08(043.3) 4 rus...”

Методы оптико-электронной регистрации критических размеров субмикронных планарных структур изделий микроэлектроники: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Трапашко Георгий Алексеевич. - Минск, 2014. - 141 л.

“...621.382.049.77-027.3:658.562:535.24.08(043.3) 4 rus...”

Системы проекционного переноса широкоформатных изображений в технологии сборки СБИС методом перевернутого кристалла: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов, приборов электронной техники / Агейченко Александр Степанович. - Минск, 2014. - 142 л.

“...621.382.049.77-027.3:621.717(043.3) 4 rus...”

Технология и оборудование для термозвуковой микросварки в изделиях электронной техники с высокой плотностью межсоединений: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Петухов Игорь Борисович. - Минск, 2014. - 200, [1] л.

“...621.382.049.77-027.3:621.791.16.016.2-022.53(043.3) 4 rus...”

Ионно-плазменное формирование конденсаторных структур на основе танталата стронция-висмута для элементов сегнетоэлектрической энергонезависимой памяти: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Окоджи Джейкобс Эхимэир. - Минск, 2018. - 21 с.

“...621.382.049.77-027.3:621.793.18:621.315.61:537.226.4(043.3) 4 rus...”

Моделирование электрофизических свойств и технологических маршрутов изготовления интегральных полупроводниковых приборных структур: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Лагунович Наталия Леонидовна. - Минск, 2018. - 30 с.

“...621.382.049.77-027.3:658.512:004.94(043.3) 4 rus...”

Связанные темы