Можно получить больше результатов путем настройки запроса поиска.

• Fuzzy-поиск может выбирать теримины с похожими произношениями: Формирование слоев силицидов титана методом быстрой термической обработки системы TiN / Ti / Si в технологии интегральных микросхем~.
• Добавление метасимвола замены может позволить выбирать варианты слов: Формирование слоев силицидов титана методом быстрой термической обработки системы TiN / Ti / Si в технологии интегральных микросхем*.