Производство гибридных интегральных схем: учебное пособие / Ю. А. Родионов

Сохранено в:
Шифр документа: 1Н//867283(039),
Вид документа: Книги
Автор: Родионов, Ю. А.
Опубликовано: Москва Вологда : Инфра-Инженерия , 2020
Физические характеристики: 298 с. : ил., цв. ил., табл.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ib4500
001 BY-RLST-kn-845290
005 20230224090436.0
010 # # $a 978-5-9729-0460-0  $b в переплете 
100 # # $a 20210412d2020 f y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a j 000yy 
109 # # $a ga 
200 1 # $a Производство гибридных интегральных схем  $e учебное пособие  $f Ю. А. Родионов 
210 # # $a Москва  $a Вологда  $c Инфра-Инженерия  $d 2020 
215 # # $a 298 с.  $c ил., цв. ил., табл. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7404  $a ГИБРИДНЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34175  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3170564  $a МНОГОСЛОЙНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33874  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33890  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ  $2 DVNLB 
608 # # $3 BY-NLB-ar2286649  $a УЧЕБНОЕ ПОСОБИЕ ДЛЯ ВУЗОВ  $2 BYGNR 
615 # # $a Белорусский национальный документ  $x Экстериорика 
675 # # $a 621.382.049.776-027.3(075.8)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.33.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.01.33  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-119444  $a Родионов  $b Ю. А.  $g Юрий Анатольевич  $c кандидат технических наук, микроэлектроника 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0001  $c 20210412  $g RCR