Системы проекционного переноса широкоформатных изображений в технологии сборки СБИС методом перевернутого кристалла: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Агейченко Александр Степанович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Н//186839(039), 2Н//186840(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Агейченко, A. С.
Опубликовано: Минск , 2014
Физические характеристики: 24 с. : ил., табл.
Язык: Русский
Предмет:
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
СБОРОЧНО-МОНТАЖНЫЕ РАБОТЫ
ФОТОЛИТОГРАФИЯ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
Е-документ: E-документ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-RLST-kn-495359
005 20220412162155.0
100 # # $a 20141220d2014 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus  $d eng  $d rus  $d bel 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Системы проекционного переноса широкоформатных изображений в технологии сборки СБИС методом перевернутого кристалла  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники  $f Агейченко Александр Степанович  $g Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" 
210 # # $a Минск  $d 2014 
215 # # $a 24 с.  $c ил., табл. 
300 # # $a Резюме на белорусском, русском и английском языках 
311 # # $a В фонде НББ имеется диссертация 
320 # # $a Библиография: с. 17—21 (33 назв.) 
345 # # $9 60 экз. 
488 # 0 $1 001BY-NLB-br0001203142 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2121092  $a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar29176  $a СБОРОЧНО-МОНТАЖНЫЕ РАБОТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar85256  $a ФОТОЛИТОГРАФИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33890  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77-027.3:621.717(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.15  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.18.01  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.06  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-RLST-ar539802  $a Агейченко  $b A. С.  $g Александр Степанович  $c кандидат технических наук, электроника 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar186905  $a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники  $c Минск  $4 995 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0001  $c 20141220  $g psbo 
801 # 2 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20170927  $g RCR 
830 # # $a 22.01.2015 
856 4 # $u http://dep.nlb.by/jspui/bitstream/nlb/48950/2/default.htm 

Схожие документы