Базовые технологические процессы изготовления полупроводниковых приборов и интегральных микросхем на кремнии : [монография] : в 3 т. / [О. Ю. Наливайко и др.]. Т. 2

Сохранено в:
Шифр документа: 1Н//441338(039), 1Н//441339(039),
Вид документа: Книги
Физические характеристики: 728, [2] с. : ил., цв. ил., табл.
Язык: Русский
Предмет:
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
КРЕМНИЙ
ОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ
ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ
ДИФФУЗИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ
ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
МИКРОЛИТОГРАФИЯ
ХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
ТРАВЛЕНИЕ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
00000cam2a2200000 ib4500
001 BY-RLST-kn-432826
005 20170927104211.6
010 # # $a 978-985-6845-45-4 
100 # # $a 20140113d2013 k y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a z 000yy 
109 # # $a aa 
200 0 # $a Т. 2 
215 # # $a 728, [2] с.  $c ил., цв. ил., табл. 
320 # # $a Библиография в конце глав 
345 # # $9 500 экз. 
461 # 0 $1 001BY-NLB-br0001021167  $1 2000   $v Т.2. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24592  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17342  $a ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3364070  $a ОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1733874  $a ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1595507  $a ДИФФУЗИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2408340  $a МИКРОЛИТОГРАФИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36831  $a ХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34342  $a ТРАВЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33874  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.2/.3-027.3  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.382.049.77-027.3  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.315.592:546.28:621.793/.795  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.09.29  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 55.22  $2 rugasnti  $v 6 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0001  $c 20140113  $g psbo 
801 # 2 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20170927  $g psbo 

Схожие документы