Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : [учебное пособие для вузов] : в 2 т. / [под общей редакцией Ю. Н. Коркишко]. Т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Publié: | 2010 |
| Description matérielle: |
392 с. : ил., табл.
|
| Langue: | Русский |
| Sujets: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Disponible Réserver | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||