Исследование технологического процесса получения пленок сложного состава методом катодного распыления [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: (05.27.02)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Чэкай Дионизы |
| Опубликовано: | Л. , 1989 |
| Физические характеристики: |
156 с. : прил.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||