Исследование технологического процесса получения пленок сложного состава методом катодного распыления [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: (05.27.02)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Чэкай Дионизы |
| Опубликовано: | Л. , 1989 |
| Физические характеристики: |
156 с. : прил.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nbm0a22000001id4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr41946090000 | ||
| 005 | 20080219140749.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20080219d1989 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование технологического процесса получения пленок сложного состава методом катодного распыления $b [Микроформа] $e Дис. ... канд. техн. наук $e (05.27.02) |
| 210 | # | # | $a Л. $d 1989 |
| 215 | # | # | $a 156 с. $c прил. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 140-152 |
| 686 | # | # | $a 05.27.02 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Чэкай Дионизы |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20080219 $g psbo |