Механизм формирования текстуры, зеренной и субзеренной структуры поликристаллических пленок кремния, получаемых осаждением из газовой фазы [[Микроформа]]: Дис. ... канд. физ.-мат. наук: Утв. 22.11.89: (01.04.10)
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Султанов, М. А. |
| Wydane: | М. , 1989 |
| Opis fizyczny: |
229 с. : ил.
|
| Język: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||