Механизм формирования текстуры, зеренной и субзеренной структуры поликристаллических пленок кремния, получаемых осаждением из газовой фазы [[Микроформа]]: Дис. ... канд. физ.-мат. наук: Утв. 22.11.89: (01.04.10)
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Султанов, М. А. |
| Publié: | М. , 1989 |
| Description matérielle: |
229 с. : ил.
|
| Langue: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||