Механизм формирования текстуры, зеренной и субзеренной структуры поликристаллических пленок кремния, получаемых осаждением из газовой фазы [[Микроформа]]: Дис. ... канд. физ.-мат. наук: Утв. 22.11.89: (01.04.10)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Султанов, М. А. |
| Опубликовано: | М. , 1989 |
| Физические характеристики: |
229 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nbm0a22000001id4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr41811870000 | ||
| 005 | 20080219134353.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20080219d1989 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Механизм формирования текстуры, зеренной и субзеренной структуры поликристаллических пленок кремния, получаемых осаждением из газовой фазы $b [Микроформа] $e Дис. ... канд. физ.-мат. наук $e Утв. 22.11.89 $e (01.04.10) |
| 210 | # | # | $a М. $d 1989 |
| 215 | # | # | $a 229 с. $c ил. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 198-225 |
| 686 | # | # | $a 01.04.10 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Султанов $b М. А. $g Марат Абдыразакович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20080219 $g psbo |