Исследование и разработка технологических процессов формирования и контроля тонкопленочных элементов микросборок повышенной мощности [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: (05.27.05)
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Смолин, В. К. |
| Published: | Горький , 1990 |
| Physical Description: |
187 с. : прил.
|
| Language: | Russian |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||