
Исследование и разработка технологических процессов формирования и контроля тонкопленочных элементов микросборок повышенной мощности [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: (05.27.05)
Gespeichert in:
Format: | |
---|---|
1. Verfasser: | Смолин, В. К. |
Veröffentlicht: | Горький , 1990 |
Beschreibung: |
187 с. : прил.
|
Sprache: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|