Исследование и разработка технологических процессов формирования и контроля тонкопленочных элементов микросборок повышенной мощности [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: (05.27.05)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Смолин, В. К. |
| Опубликовано: | Горький , 1990 |
| Физические характеристики: |
187 с. : прил.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||